ラムリサーチコーポレーションR
LAR0.DE
ゼトラ
Lam Research Corporation は、米国、中国、韓国、台湾、日本、東南アジア、およびヨーロッパで、集積回路の製造に使用される半導体処理機器の設計、製造、販売、再生、およびサービスを行っています。同社は、タングステンまたはモリブデンのメタライゼーション用途のコンフォーマルまたは選択的な膜を堆積する ALTUS システム、銅ダマシン製造を提供する銅相互接続遷移用の SABRE 電気化学堆積製品、ギャップフィル高密度プラズマ化学気相堆積 (CVD) 製品 SPEED、誘電体膜ソリューション用の Striker シングルウェーハ原子層堆積製品、および VECTOR プラズマ強化 CVD 製品を提供しています。また、誘電体エッチング用途の Flex、Equipment Intelligence ソリューションによって実現される RF 技術と繰り返し可能なウェーハ間パフォーマンスを提供する誘電体エッチング システム Vantex、導体エッチング用途の Kiyo、シリコン貫通ビアエッチング用途の Syndion、および金属エッチング プロセス用の Versys 金属製品も提供していますDa Vinci、DV-Prime、EOS、SPシリーズ製品など、様々なウェーハ洗浄アプリケーションに対応する製品を提供しています。さらに、Reliantシリーズの成膜、エッチング、洗浄製品、Sense.iプラットフォーム製品に加え、カスタマーサービス、スペアパーツ、アップグレードも提供しています。Lam Research Corporationは1980年に設立され、カリフォルニア州フリーモントに本社を置いています。