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Onto Innovation Inc. beschäftigt sich mit dem Design, der Entwicklung, Herstellung und Unterstützung von Prozesssteuerungswerkzeugen, die weltweit Makrodefektprüfungen und optische 2D/3D-Messtechnik, Lithographiesysteme und Prozesssteuerungsanalysesoftware durchführen. Es bietet Prozess- und Ertragsmanagementlösungen sowie Geräteverpackungs- und Testeinrichtungen durch eigenständige Systeme für Makrodefektprüfung, Verpackungslithographie, Test und Analyse von Prüfkarten und transparente und opake Dünnschichtmessungen sowie ein Prozesssteuerungssoftwareportfolio, das Lösungen für eigenständige Werkzeuge, Werkzeuggruppen und unternehmens- oder fabrikweite Suiten umfasst. Das Unternehmen bietet auch Ersatzteile und Softwarelizenzdienste an. Seine Produkte werden von Herstellern von Halbleitern und fortschrittlichen Verpackungsgeräten verwendet; Siliziumwafer; Leuchtdioden; vertikaler oberflächenemittierender Laser; mikroelektromechanisches System; CMOS-Bildsensor; Leistungsgeräte; HF-Filter; Datenspeicherung; und verschiedene industrielle und wissenschaftliche Anwendungen. Das Unternehmen war früher als Rudolph Technologies, Inc. bekannt. Onto Innovation Inc. wurde 1940 gegründet und hat seinen Hauptsitz in Wilmington, Massachusetts.