램 리서치 코퍼레이션
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Lam Research Corporation은 집적 회로 제작에 사용되는 반도체 처리 장비를 설계, 제조, 마케팅, 수리 및 서비스합니다. 이 회사는 텅스텐 금속화 애플리케이션을 위한 컨포멀 필름을 증착하는 ALTUS 시스템, 구리 다마신 제조를 제공하는 구리 상호 연결 전환을 위한 SABRE 전기화학 증착 제품, 필름 처리를 위한 SOLA 자외선 열 처리 제품, VECTOR 플라즈마 강화 CVD ALD 제품을 제공합니다. 또한 SPEED 갭필 고밀도 플라즈마 화학 기상 증착 제품, 유전체 필름 솔루션을 위한 Striker 단일 웨이퍼 원자층 증착 제품도 제공합니다. 또한 이 회사는 유전체 에칭 애플리케이션을 위한 Flex, 도체 에칭 애플리케이션을 위한 Kiyo, 실리콘 관통 비아 에칭 애플리케이션을 위한 Syndion, 금속 에칭 공정을 위한 Versys 금속 제품을 제공합니다. 또한 다이 수율을 높이기 위한 Coronus 베벨 클린 제품, 다양한 웨이퍼 세척 애플리케이션을 해결하기 위한 Da Vinci, DV-Prime, EOS 및 SP 시리즈 제품을 제공합니다. 및 Metryx 질량 계측 시스템은 반도체 웨이퍼 제조에서 고정밀 인라인 질량 측정을 위한 것입니다. 이 회사는 미국, 중국, 유럽, 일본, 한국, 동남아시아, 대만 및 국제적으로 반도체 산업에 제품과 서비스를 판매합니다. Lam Research Corporation은 1980년에 설립되었으며 캘리포니아주 프리몬트에 본사가 있습니다.